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傳統設備在高速旋轉涂布時，容易出現膜厚不均、熱烘溫度波動大等問題。雷博科儀勻膠機腔體采用特殊設計，在納米壓印工藝上能夠保持優異的均勻性：
A.勻膠均勻性：8寸晶圓，BKM數據可達±1.1%。
4寸晶圓BKM數據：片內±0.49%，片間±0.55%。
6寸晶圓BKM數據：片內±0.76%，片間±0.91%。
8寸晶圓BKM數據：片內±0.92%，片間±1.10%。
B.面板均勻性：8/12寸圓形區域內，BKM數據可達≤±1%。（溫度分辨率：0.1℃，控溫精度：±0.2℃，線性升溫范圍：0.5℃/min~10℃/min，線性區域內）
AC200勻膠機（定制機）
針對AZ 5214E這款膠液，8寸片2µm膜厚，雷博科儀AC200勻膠機能夠保持出色的均勻性：
片內均勻性：BKM 0.54%，片間均勻性：1.14%。
4寸晶圓均勻性：±0.39%
8寸晶圓均勻性：±1.3%
1. 腔體用HDPE材質（耐酸性和耐堿性優于PP）。
2.塑料載物盤選用PPS材質（耐化學腐蝕性優于PP，高溫和高濕度條件下比PP有更好的絕緣性，具有良好的難燃燒性能）。
3.主軸電機采用高精度伺服電機，配合自研控制算法，高轉速（10000rpm）下也可穩定保持小于1rpm的偏差，以及穩定的加速度輸出。
4.防堵膠設計，大容量集液瓶大幅延長維護周期（同樣使用頻率下，我司1月1次）。
5.排廢和抽風獨立分開，避免污染影響抽風管路。
6.設備可開蓋/閉蓋運行，適應更多應用環境。
7.標配無油真空泵，建立真空無需再通入壓縮空氣等。
8.扁平化UI設計，一鍵式操作模式，極易上手，幾乎沒有操作學習成本。
9.藥液閥選用一線進口品牌CKD、小金井等，供液和回吸穩定可靠（定制型號）。
10.半自動化擺臂設計，可實現定點、擺動、滑動多種滴膠方式（定制型號）。
11.家族化統一風格外觀設計，外殼噴塑工藝，耐腐。
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